Rapidusは18日、同社が北海道千歳市で建設中の半導体開発/生産施設「IIM-1」(Innovative Integration for Manufacturing-1)に、ASML製EUV露光装置を搬入し、設置を開始したと発表した。最先端半導体の量産に対応するEUV露光装置の導入は日本初だとしている。
Rapidusは18日、同社が北海道千歳市で建設中の半導体開発/生産施設「IIM-1」(Innovative Integration for Manufacturing-1)に、ASML製EUV露光装置を搬入し、設置を開始したと発表した。最先端半導体の量産に対応するEUV露光装置の導入は日本初だとしている。